Основные научные направления кафедры
Взаимодействие заряженных частиц с поверхностью
Ионно-пучковые нанотехнологии
Сверхзвуковая плазменная аэродинамика
Сканирующая электронная микроскопия структур микро- и наноэлектроники
Современные проблемы физики газового разряда
Углеродная электроника
Физика ВЧ разрядов, плазменных ВЧ технологий и космических движителей
Электродинамика плазмы и плазменная СВЧ электроника